ประเภทของเซ็นเซอร์ทั่วไป

ประเภทตัวต้านทาน
เซ็นเซอร์ต้านทานคืออุปกรณ์ที่แปลงปริมาณทางกายภาพที่วัดได้ เช่น การกระจัด การเสียรูป แรง ความเร่ง ความชื้น อุณหภูมิ ฯลฯ ให้เป็นค่าความต้านทาน ส่วนใหญ่จะมีเซ็นเซอร์วัดความเครียดแบบต้านทาน เซ็นเซอร์แบบพายโซรีซิสทีฟ เซ็นเซอร์ความร้อน เซ็นเซอร์ความร้อน เซ็นเซอร์ก๊าซ เซ็นเซอร์ความชื้น และส่วนประกอบเซ็นเซอร์ต้านทานอื่นๆ
เกจวัดความเครียดความต้านทาน
สเตรนเกจความต้านทานในเซนเซอร์มีผลกระทบต่อความเครียดของโลหะ กล่าวคือ ทำให้เกิดการเสียรูปทางกลภายใต้การกระทำของแรงภายนอก ดังนั้นค่าความต้านทานจึงเปลี่ยนแปลงตามไปด้วย สเตรนเกจความต้านทานมีสองประเภทหลัก: โลหะและเซมิคอนดักเตอร์ สเตรนเกจโลหะสามารถแบ่งได้เป็นประเภทลวด ประเภทฟอยล์ และประเภทฟิล์ม เซมิคอนดักเตอร์สเตรนเกจมีข้อดีคือมีความไวสูง (โดยปกติจะเป็นสิบเท่าของประเภทลวดและประเภทฟอยล์) และเอฟเฟกต์ตามขวางเล็กน้อย
ประเภทพายโซรีซิสทีฟ
เซ็นเซอร์ Piezoresistive เป็นอุปกรณ์ที่ทำโดยการกระจายความต้านทานบนพื้นผิวของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ตามผลกระทบ Piezoresistive ของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุพิมพ์สามารถใช้เป็นองค์ประกอบการตรวจจับการวัดได้โดยตรง และความต้านทานการแพร่กระจายจะเชื่อมต่อกับวัสดุพิมพ์ในรูปแบบของสะพานไฟฟ้า เมื่อวัสดุพิมพ์เกิดการเสียรูปเนื่องจากแรงภายนอก ค่าความต้านทานจะเปลี่ยนไป และสะพานจะสร้างเอาต์พุตที่ไม่สมดุลที่สอดคล้องกัน
วัสดุซับสเตรต (หรือเมมเบรน) ที่ใช้สำหรับเซ็นเซอร์พายโซรีซิสทีฟส่วนใหญ่เป็นเวเฟอร์ซิลิคอนและเวเฟอร์เจอร์เมเนียม เซ็นเซอร์ตัวต้านทานแบบซิลิคอนที่ทำจากเวเฟอร์ซิลิคอนเป็นวัสดุที่ละเอียดอ่อนกำลังได้รับความสนใจเพิ่มมากขึ้น โดยเฉพาะอย่างยิ่งเซ็นเซอร์ตัวต้านทานแบบพายโซรีซีฟ{1}}สถานะของแข็งที่วัดความดันและความเร็ว
ต้านทานความร้อน
การวัดอุณหภูมิความต้านทานความร้อนขึ้นอยู่กับคุณลักษณะที่ว่าค่าความต้านทานของตัวนำโลหะจะเพิ่มขึ้นตามการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิสำหรับการวัดอุณหภูมิ ตัวต้านทานความร้อนส่วนใหญ่ทำจากวัสดุโลหะบริสุทธิ์ โดยมักใช้แพลตตินัมและทองแดงมากที่สุด นอกจากนี้ วัสดุต่างๆ เช่น นิกเกิล แมงกานีส และโรเดียม ได้เริ่มถูกนำมาใช้เพื่อผลิตตัวต้านทานความร้อน